ГОСТ Р 71422-2024 Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа

Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа

Предисловие

1. РАЗРАБОТАН Акционерным обществом «Российский научно-исследовательский институт «Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт»).

2. ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 303 «Электронная компонентная база, материалы и оборудование».

3. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 июня 2024 г. № 721-ст.

4. ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ.

1. Область применения

Настоящий стандарт распространяется на эпитаксиальные структуры арсенида галлия и устанавливает метод измерения толщины активного, контактного п+ и буферного п+ эпитаксиальных слоев в структурах галлия п - п+ , п - п^ - п++, п^ - п - п^- п++, р+ - п, р+ - п - п - п^ - п+ , р+ - i, п^- п^- п- п^~ п++ по окрашенному сферическому шлифу в следующем диапазоне измеряемых толщин