Научная и техническая литература

Батавин В.В. и др. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур

11 ноября 2021 г. в 13:03
Батавин В.В. и др. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур
Батавин В.В. и др. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур

Батавин В.В. и др. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур

Предисловие

В современной микроэлектронике широко применяются полупроводниковые материалы и эпитаксиальные структуры, на основе которых создаются многочисленные классы полупроводниковых приборов и микросхем. Необходимость совершенствования и дальнейшего развития технологии производства полупроводниковых материалов ставит первоочередной задачей повышение эффективности как лабораторного, так и промышленного контроля их качества. Уровень технологических потерь на различных этапах производства материалов и структур в определенной мере зависит от надежности и объективности информации об их качестве. Материальные затраты на производственный контроль качества в значительной степени определяется также выбором методов измерений, их воздействием на объект контроля. Таким образом, проблема повышения экономической эффективности производства материалов микроэлектроники в числе прочих задач требует оснащения промышленности высокоточными и производительными методами и средствами измерений, освоения прогрессивных, неразрушающих методов контроля, предъявляет особые требования к обеспечению измерений на всех участках производственного контроля.

Имеющиеся издания по контролю параметров полупроводниковых материалов в ряде случаев устарели, так как эта область техники развивается быстрыми темпами. В связи с этим одной из главных задач книги являлось обобщение и критический анализ работ, появившихся за последние 5...10 лет и посвященных метрике полупроводниковых эпитаксиальных, диффузионных, ионно-легированных слоев, а также структур диэлектрик-полупроводник.

В последнее время все большее применение находят физико-аналитические методы исследования и контроля. В книге эти методы рассматриваются только применительно к исследованию полупроводниковых материалов и структур.

Авторы видели свою задачу в том, чтобы дать широкий обзор методов контроля материалов и структур, используемых в производстве, и вооружить специалистов полезным методическим руководством по выбору и практической реализации различных методов измерений. С этой целью сделана попытка рассмотреть физические причины происхождения различных составляющих погрешности, осветить вопрос о взаимосвязи погрешности с объектом измерения. В книге использованы не только данные из литературных источников, но и результаты, непосредственно полученные авторами книги.

👉 Подписывайтесь на Elec.ru. Мы есть в Телеграм, ВКонтакте и Одноклассниках

Смотрите также
Публикации по теме
Новости по теме
Объявления по теме

ПРОДАМ: Электроизмерительные приборы по ценам завода-производителя

Поставляем электроизмерительные приборы по ценам завода-производителя: дефектопоисковый комплекс Сталкер ВЛ, измеритель параметров разрядников и выравнивателей ПРВ-01, измеритель параметров УЗО ПЗО — 500, измерители сопротивления ИС, ИФН, миллиомметры и микроомметры МИКО, приборы для проведения диагностики устройств РНП трансформаторов ПКР-2, приборы контроля высоковольтных выключателей ПКВ, ПУВ-РЕГУЛЯТОР, пульты управления выключателем ПУВ-10, ПУВ-50, цифровые мегаомметры Е6-24, Е6-24/1, Е6-31, Е6-31/1, Е6-32, трассоискатели Сталкер, указатели последовательности чередования фаз УПФ-2500, УПФ-800, РЕТОМ. ООО «Дальневосточный Энергетический Союз» (официальный дилер)
Мысляев Олег · ДВЭС · 8 апреля · Россия · Хабаровский край
Электроизмерительные приборы по ценам завода-производителя

ПРОДАМ: Амперметр/Вольтметр на ДИН рейку ВАР-М01 АС80-300В н/м

Цифровой промышленный вольтамперметр ВАР-М01 предназначен для технологического контроля величины напряжения и тока в электрических цепях переменного тока, как в промыш-ленных зонах, так и сферах ЖКХ, бытовом секторе, прочих объектах народного хозяйства. Может применяться в составе систем автоматизированного контроля и управления технологическими процессами в качестве основного или дополнительного индикатора на передвижных и стационарных объектах. Является средством контроля. Периодической поверке не подлежит. Вольтамперметр выпускается в пластмассовом корпусе с передним присоединением. Крепление осуществляется на монтажную рейку DIN EN 50022. Конструкция клемм обеспечивает надежный зажим проводов сечением от 0.5 до 4 мм2 (От 20 до 10 AWG). На лицевой панели прибора расположены цифровые индикаторы отображающие величину напряжения и тока. Индикаторы имеют высокую яркость свечения, обеспечивающую считывание информации при любой освещенности. За дополнительной информацией к нашим специалистам!
Амперметр/Вольтметр  на ДИН рейку ВАР-М01 АС80-300В н/м

ПРОДАМ: Вольтамперметр ВАР-М01 63А/450В УХЛ4 (вольтамперметр, ампервольтметр) на ДИН рейку ВАР-М01 , узкий корпус

Цифровой промышленный вольтамперметр ВАР-М01 63А 450В предназначен для технологического контроля величины напряжения и тока в электрических цепях переменного тока, как в промышленных зонах, так и сферах ЖКХ, бытовом секторе, прочих объектах народного хозяйства. Может применяться в составе систем автоматизированного контроля и управления технологическими процессами в качестве основного или дополнительного индикатора на передвижных и стационарных объектах. Является средством технологического контроля. Периодической поверке не подлежит. Питание от контролируемого напряжения Измерение среднеквадратичных значений напряжений и токов Измерение потребляемой мощности Измерение напряжения — АС35…450В Рабочий диапазон частот — от 45 до 65Гц Диапазон измеряемого тока — 0,5…63А Основная погрешность измерений напряжения не более ±1 ед. младшего разряда Основная погрешность измерений тока не более ±2 ед. младшего разряда Корпус шириной 1 модуль (17,5 мм) Вольтамперметр выпускается в пластмассовом корпусе с передним присоединением. Крепление осуществляется на монтажную рейку-DIN шириной 35 мм (ГОСТ Р МЭК 60715-2003) или на ровную поверхность. Для установки реле на ровную поверхность, фиксаторы замков необходимо раздвинуть, крепление осуществляется винтами или шурупами через отверстие в фиксаторе. Конструкция клемм обеспечивает зажим проводов сечением до 25 мм². В нижней части корпуса выведен провод НВ3-0,75 длиной 50 см, для подключения к нейтральной шине. На лицевой панели прибора расположены цифровые индикаторы отображающие величину напряжения и тока, кнопка. Индикаторы имеют высокую ярость свечения, обеспечивающую считывание информации при любой освещённости. РАБОТА ВОЛЬТАМПЕРМЕТРА Вольтамперметр не требует оперативного питания и подключается непосредственно в разрыв измеряемой цепи. Проводник с измеряемым током подключается к клеммам L ВХОД и U ВЫХОД (сверху вниз или снизу вверх не имеет значения). Схемы подключения изображены на рисунках ниже и корпусе...
Смолич Елена · НПК Электроэнергетика · 23 апреля · Россия · Московская обл
Вольтамперметр ВАР-М01 63А/450В УХЛ4 (вольтамперметр, ампервольтметр) на ДИН рейку ВАР-М01 , узкий корпус

ПРОДАМ: Омметры, Микроомметры SONEL - MIC-3, MMR-600 , MMR-610 , MPI-511

MIC-3 Измеритель сопротивления электроизоляции, проводников присоединения к земле и выравнивания потенциалов MMR-600 Микроомметр, разрешение 1мкОм MMR-610 Микроомметр, разрешение 0,1мкОм MPI-511 Измеритель параметров электробезопасности электроустановок
Отдел продаж · Энергопромавтоматика · 19 апреля · Россия · Московская обл
Энергопромавтоматика, ООО

ПРОДАМ: Приборы для измерения параметров петли короткого замыкания SONEL - MIE-500 , MPI-511 , MZC-303E , MZC-303E , MZC-310S

MIE-500 Измеритель параметров электробезопасности электроустановок MPI-511 Измеритель параметров электробезопасности электроустановок MPI-511 Измеритель параметров цепей «фаза-нуль» и «фаза-фаза» электросетей MZC-300 Измеритель параметров цепей электропитания зданий MZC-303E Измеритель параметров цепей электропитания зданий MZC-310S Измеритель параметров электробезопасности мощных электроустановок Отгрузка со склада. Доставка в регионы.
Отдел продаж · Энергопромавтоматика · 19 апреля · Россия · Московская обл
Энергопромавтоматика, ООО
Компания ANDELI GROUP является производителем широкого спектра низковольтного, трансформаторного и высоковольтного оборудования, а также электромонтажной арматуры и сварочного оборудования. Ассортимент производимой продукции насчитывает более 300 серий и свыше 10000 наименований.