Для современного производства или процедур разработки зачастую требуются условия окружающей среды, в которых концентрация частиц пыли не должна превышать предельных значений. Чистые помещения с очень низкой концентрацией частиц пыли в воздухе необходимы всегда, когда наличие взвешенных в воздухе частиц может отрицательно сказаться на работе.
Чистые помещения требуются в различных ситуациях. Они используются при производстве полупроводников, в медицинских технологиях, оптических и лазерных технологиях, а также при стерильном производстве медикаментов и пищевых продуктов. При классификации чистых помещений применяются различные стандарты.
Сервисные роботизированные модули: сертификация чистых помещений в соответствии со стандартом EN ISO 14644
Сервисные роботизированные модули Pilz сертифицированы по стандарту EN ISO 14644. В этом стандарте в частности указано, что полупроводниковая технология требует отсутствия загрязнения частицами. С другой стороны стандарт ISO регулирует условия отбора проб — например минимальное количество мест забора проб на единицу площади. Стандарт DIN EN ISO 14644-1 определяет новые классы чистых помещений от ISO 1 до ISO 9. Самые строгие требования предъявляются для класса ISO 1, который является наивысшим классом чистоты. Чем ближе к классу ISO 9, тем ниже требования.
В рамках процедуры сертификации Colandis модуль манипулятора PRBT 6 от Pilz был испытан по классу ISO 3 и признан годным. Это означает, что сервисные роботизированные модули можно использовать во всех чистых помещениях, относящихся к этой категории — например при обработке полупроводниковых пластин на производстве микроэлектроники.
