Химики Томского государственного университета разработали технологии синтеза двух высокочистых соединений, необходимых для развития отечественной микроэлектроники. Производство особо чистого бромистого водорода и тетракис(диметиламино)титана запущено на площадке Инжинирингового химико-технологического центра (ИХТЦ) ТГУ. Планируется, что ИХТЦ сможет закрыть основные потребности в этих двух продуктах у российских предприятий, занимающихся выпуском компонентов для микроэлектроники.
«Бромистый водород применяется для очистки поверхности кремниевых пластин, служащих основой для интегральных микросхем, – поясняет руководитель проекта, директор Инжинирингового центра высокочистых веществ и материалов микроэлектроники ТГУ, профессор ХФ ТГУ Виктор Сачков. – Ранее бромистый водород поставлялся в Россию зарубежными компаниями, но после введения санкций поставки были прекращены. За 2023-2024 год химики ТГУ разработали отечественную технологию выпуска и очистки с использованием только российских реагентов, что обеспечивает технологическую независимость производства».
В конце 2024 года технология была успешно внедрена на площадке малотоннажной химии ИХТЦ. Первые партии продукта уже прошли промышленные испытания на базе отечественных предприятий, занимающихся выпуском компонентов для микроэлектронных устройств и систем.
Еще одна технология, разработанная химиками ТГУ, предназначена для синтеза соединения тетракис(диметиламино)титана, широко известного как TDMAT. Сложный предшественник титана необходим для создания сложных электронных устройств. Он используется для химического осаждения пленок нитрида титана из газовой фазы. TDMAT незаменим при производстве полупроводников, помимо этого, в нем заинтересованы и другие отрасли, например, производители изотопов, оптики, конструкционных покрытий и композиционных материалов.
Первые партии TDMAT уже отправлены российским предприятиям. В связи с тем, что государство определило развитие микроэлектроники как один из приоритетов, спрос на этот продукт оказался выше, чем на начальной стадии разработки технологии. Тем не менее, ИХТЦ готов произвести столько продукта, сколько понадобится российской промышленности.
«В современном мире микроэлектроника – это не просто отрасль промышленности, а фундамент, без которого невозможен технологический прогресс, – говорит Виктор Сачков. – К примеру, отечественные микропроцессоры, память, контроллеры – это основа для создания конкурентоспособных компьютеров, серверов, смартфонов, робототехники, медоборудования и других сложных устройств. Внедрение технологий выпуска бромистого водорода и TDMAT электронного качества будет напрямую способствовать появлению качественной российской электроники и ее импортонезависимости».