Как сообщает CNews, Минпромторг является заказчиком научно-исследовательской работы «Разработка и освоение производства литографических материалов для микроэлектронного оборудования». За эту работу ведомство заплатит 1,1 млрд руб. В качестве основных потребителей этих материалов ведомство указывает «Микрон» и «НМ-Тех».
Какие материалы нужны?
Согласно заказу ведомства, предполагается создание фоторезистов для использования в процессе фотолитографии с длинной волны актиничного лазерного излучения 248 нм.
В рамках работ предусмотрена разработка и освоение производства фоторезистов, а именно марки ФР248-01, ФР248-02, ФР248-03, ФР248-04, ФР248-05 и двух антиотражающих покрытий марки ПА248-01 и ПА248-02.
Что требуется от Исполнителя?
От Исполнителя требуется проделать не только теоретические и экспериментальные работы, но и провести испытания опытных партий фоторезистов, а также подготовить и освоить их производство. «В процессе выполнения НИР образцы разработанных материалов должны быть переданы предприятиям и получено заключение по уровню параметров и применяемости», - отмечено в документах.
В случае, если Исполнитель будет использовать в работе материалы, сырье и оборудование иностранного производства, то данные действия должны быть согласованы с Минпромторгом.
Фоторезист в России
Для работы с фоторезистами необходимо специальное оборудование.
В ноябре 2021 г. CNews сообщал, что в России за 5,7 миллиарда создадут фотолитографическое оборудование для печати процессоров. Работы должны быть выполнены до ноября 2026 г.
Еще в апреле 2022 г «Микрон» сообщил о своих намерениях победить дефицит отечественных полупроводников в России, с помощью увеличения объемов выпускаемых кремниевых пластин.
Собеседник «Коммерсанта» тогда заметил, что «Микрон» может столкнуться с нехваткой расходных материалов, в особенности тех, что поставляли компании из отвернувшихся от России государств.
Речь шла, в частности о фоторезистах, которые ранее импортировались из стран Европы. Оборудование для дополнительных объемов завод собирался закупать на вторичном рынке, отмечал источник издания.
