Установка PlasmaEtch — это система плазменной декапсуляции. Она позволяет вскрывать пластиковые корпуса различных типов и размеров. При верном выборе рецептуры поверхность кристалла и разварочные выводы остаются неповрежденными — это позволяет сохранить работоспособность микросхем для дальнейших исследований.
Знаете ли вы: PlasmaEtch Nisene декапсулирует несколько ИС одновременно
Так как эффективная рабочая зона в данной установке составляет 20×20 мм, то все ИС, которые поместятся на этой площади, могут быть успешно декапсулированы. В качестве примера рассмотрим образец ИС компании Exar Corporation, представленный на рисунке 1. Эта микросхема имеет размеры примерно 4 ммx10 мм, следовательно за один проход может быть обработано до 8 таких ИС.
Для демонстрации возможностей совместной декапсуляции нескольких образцов в установке PlasmaEtch, был проведен эксперимент, в начале которого в рабочей зоне системы вплотную друг к другу были размещены две ИС Exar Corporation, после чего на их поверхности при помощи маски была выделена область последующей обработки. Результат маскирования микросхем представлен на рисунке 2. В ходе эксперимента выполнялась оценка равномерности удаления материалов корпусов каждой из двух микросхем. Было установлено, что наиболее точно оценить степень планарности полученной в процессе декапсуляции поверхности можно только в том случае, если пронаблюдать весь процесс обработки, т. е. начав с травления верхних слоев корпуса, освободить от пластика проволочные выводы и получить открытую поверхность кристалла ИС.
На начальном этапе обработки образцов хорошо заметна неравномерность травления, однако по мере дальнейшего удаления материалов корпусов ИС, различия между ними становятся все меньше. Рисунок 3 демонстрирует раннюю стадию обработки ИС, на которой имеет место небольшая разница в равномерности травления образцов.
В продолжение обработки зеркально повернутых друг относительно друга ИС становится заметно, что удаление корпусов на схожих участках микросхем происходит примерно с одинаковой скоростью. Для достижения максимально идентичного результата травления образцов потребовалось выполнить два коротких цикла дополнительной обработки, в результате чего была получена картина, которую можно наблюдать на рисунке 4.
В принципе, пользователь просто может извлечь из установки PlasmaEtch образцы, которые, на его взгляд, не требуют дальнейшей обработки, а оставшиеся ИС дополнительно подвергнуть минимальному воздействию плазмы до достижения положительного результата. На рисунке 5 можно увидеть, что декапсуляция первого образца полностью завершена, в то время как на поверхности кристалла второго образца все еще имеется небольшое количество компаунда. Для очистки кристалла второго образца от остатков корпуса, его подвергли дополнительной обработке в течение короткого периода времени (10 минут). При этом первый образец был предварительно извлечен из системы во избежание чрезмерного травления.
и небольшие остатки корпуса на кристалле ИС № 2
Здесь также важно отметить, что исследуемая ИС имеет медную проволочную разварку. Несмотря на то, что технология подключения кристалла к внешним выводам микросхемы с помощью медной проволоки широко известна и метод вскрытия корпусов с медными соединениями с помощью жидкостной химии достаточно апробирован, декапсуляция ИС с медной разваркой не всегда бывает успешной. Это вызвано вариациями качества материалов и способов изготовления проволочной разварки в зависимости от типа микросхемы и её производителя. Неудачно выполненная жидкостная химическая декапсуляция нередко приводит к значительным повреждениям медной соединительной проволоки.
В то же время, установка PlasmaEtch компании Nisene обеспечивает полную сохранность соединительной проволоки на всем ее протяжении вне зависимости от качества или техпроцесса ее изготовления. На рисунке 6 показан результат удаления пластикового корпуса вокруг медных проводников, используемых для разварки кристалла ИС.
Установка плазменной декапсуляции PlasmaEtch Nisene подходит для работы с любым типом образцов, компаундов и материалов соединительных проводов. Вне зависимости от того, золотые, серебряные или медные провода были использованы при изготовлении схемы, установка PlasmaEtch позволяет проводить процедуру травления аккуратно и надёжно. Среди оборудования Nisene установка PlasmaEtch наиболее эффективно работает с серебряными проводами при декапсуляции микросхемы.
Технические характеристики PlasmaEtch Nisene.
