Углов А.А. Анищенно Л.М. Кузнецов С.Е. Адгезионная способность пленок

Углов А.А. Анищенно Л.М. Кузнецов С.Е. Адгезионная способность пленок

Предисловие

Внедрение микроэлектроники во многие области народного хозяйства осуществляется все нарастающими темпами. Современный этап развития этой отрасли характеризуется nовышенным вниманием к надежности изготовляемой аппаратуры ввиду ее резкого усложнения, а также расширения условий эксплуатации готовых изделий.

Особую актуальность приобрело производство интегральных схем (ИС), а среди них гибридных интегральных схем (ГИС), больших гибридных интегральных схем (БГИС), сверхвысокочастотных (СВЧ) микросборок и других изделий, в изготовлении которых широко применяется гибридно-пленочная, технология. Эта технология дает возможность получать наиболее широкий диапазон параметров элементов схем, а также реализовать высокие точностные характеристики элементов. Проблема получения пленок, прочно связанных с подложками из полимерных материалов, возникла в последнее время в связи с расширением применения таких прогрессивных методов увеличения плотности монтажа, как металлизация гибких подложек.

Адгезия пленок между собой, а также пленок с подложкой является основным параметром, определяющим качество изделий и их надежность. Адгезия также влияет на стоимость изготовляемых изделий, так как низкая адгезионная прочность обычно обнаруживается на заключительных технологических операциях.

Основные принципы соединения разнородных материалов нашли отражение в работах советских [6-8 и др.] и зарубежных ученых. Однако в опубликованных работах недостаточно освещены физико-химические аспекты адгезии в применении к конкретным технологическим процессам. В последние годы А. И. Губановым [1, 14, 16], а также другими исследователями развиваются теоретические аспекты адгезии, основанные на квантовомеханических подходах к проблеме о6разования связи. Несмотря на большую практическую значимость, многие из вопросов адгезии не могут быть пока решены теоретически и требуют обстоятельных экспериментальных исследований.

Целью данной книги является обобщение результатов исследований, посвященных адгезии пленочных покрытий, нанесенных различными методами и при разной подготовке поверхности подложек перед нанесением пленок, что в значительной степени определяет адгезионную прочность.