Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (НИИМЭ), имеющий статус резидента особой экономической зоны (ОЭЗ) «Технополис Москва», приступил к разработке фоторезистов – литографических материалов, которые применяются в электронной промышленности. Об этом сообщил руководитель Департамента инвестиционной и промышленной политики Москвы, входящего в Комплекс экономической политики и имущественно-земельных отношений столицы, Владислав Овчинский.
«Более 50 процентов всей продукции, выпускаемой в особой экономической зоне «Технополис Москва», производится в сфере микроэлектроники. В кластер микроэлектроники ОЭЗ Москвы входят свыше 30 резидентов. Среди них – компания «НИИМЭ», которая планирует наладить производство отечественных фоторезистов для электронной промышленности. Такая продукция будет востребована при выпуске интегральных микросхем, их используют в различной современной технике. Потребителями продукции, разработанной компанией, станут российские производители микроэлектроники, в том числе резиденты ОЭЗ «Технополис Москва», – рассказал Владислав Овчинский.
Фоторезист – это светочувствительный полимерный материал, который наносят на кремниевую пластину в ходе процесса фотолитографии. С его помощью на поверхности обрабатываемой детали формируются выделенные участки – «окна» – для дальнейшего травления или легирования поверхности. Эта технология является основной в производстве интегральных микросхем.
«Компания проведет теоретические и экспериментальные работы, разработает документацию технологического процесса, методики измерений параметров материалов и метрологической экспертизы. Производство этих материалов станет важным шагом на пути достижения технологического суверенитета нашей страны», – подчеркнул генеральный директор ОЭЗ «Технополис Москва» Геннадий Дёгтев.
Как отметил заместитель руководителя приоритетного технологического направления «Электронные технологии» компании, член-корреспондент РАН Евгений Горнев, у института накоплен большой опыт исследований в области высокочистых материалов. В консорциуме с институтами Российской академии наук по программе импортозамещения резидент ОЭЗ Москвы занимается разработками и анализом высокочистых химических реактивов для отечественной промышленности. За последние пять лет были сформированы технологические цепочки исполнителей из научных организаций и организовано проведение работ по созданию задела для разработки материалов для фотолитографии, а в 2021 году создана единственная в России физико-химическая аналитическая лаборатория мирового уровня для проведения исследований в области контроля качества технологических сред. Сегодня лаборатория участвует во всех опытно-конструкторских работах по созданию химреактивов требуемого качества и методик анализа соответствия качества высокочистых материалов.
